Original title: Využití iontových svazků pro analýzu materiálů
Translated title: Ion beam analysis in material science
Authors: Macková, Anna ; Bočan, Jiří ; Malinský, Petr
Document type: Proceedings
Conference/Event: Letní škola vakuové techniky, Štrbské pleso (SK), 2007-06-04 / 2007-06-07
Year: 2007
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
V této práci prezentujeme výsledky aplikace iontových svazků pro studium materiálů, kombinace metod RBS, PIXE, ERDA nám umožňují komplexní prvkovou charakterizaci složitých struktur amorfních i krystalických určených pro optiku, elektroniku a studium difůzních procesů v dalších odvětví materiálových věd. Popisujeme zde nově instalované metody TOF-ERDA a RBS-channeling a jejich aplikace na zkoumané materiály a výsledky testování těchto metod na našem pracovišti. In this paper we presented our results of complementary research using ion beam analysis for study of materials. Combination of RBS, PIXE and ERDA method enables us to characterize the elemental composition and the elemental depth profiles of complex multi-layer systems or study complicated difussion processes in different applications of material sciences. We described the newly installed methods TOF-ERDA and RBS-channeling and their application on material characterization and the results of testing of these methods at our workplace.
Keywords: ion beam analysis, TOF-ERDA, RBS
Project no.: CEZ:AV0Z10480505 (CEP), KJB100480601 (CEP), LC06041 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA MŠk

Institution: Nuclear Physics Institute AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0149196

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37493


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Nuclear Physics Institute
Conference materials > Proceedings