Název: Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu
Autoři: KOZLOVÁ, Miroslava
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2017
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek. This master thesis deals with examination of the parameters of low temperature plasma which is used for the deposition of thin layer of ITO. The method which is used in this thesis is the probe diagnostics. This thesis is divided into two parts. The first is the theoretical part, in which the basic parameters of low temperature plasma, principles of the probe diagnostics, and theories for this method are explained. The second part is the practical part, which presents the results of the measurement depending on changes in conditions of deposition.
Klíčová slova: depozice tenkých vrstev; fyzika plazmatu; sondová diagnostika; deposition of thin layers; plasma physics; probe diagnostics
Citace: KOZLOVÁ, Miroslava. Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu. České Budějovice, 2017. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta

Instituce: Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v digitálním repozitáři JČU.
Původní záznam: http://www.jcu.cz/vskp/44646

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-371679


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce