Original title: Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu
Authors: KOZLOVÁ, Miroslava
Document type: Master’s theses
Year: 2017
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek. This master thesis deals with examination of the parameters of low temperature plasma which is used for the deposition of thin layer of ITO. The method which is used in this thesis is the probe diagnostics. This thesis is divided into two parts. The first is the theoretical part, in which the basic parameters of low temperature plasma, principles of the probe diagnostics, and theories for this method are explained. The second part is the practical part, which presents the results of the measurement depending on changes in conditions of deposition.
Keywords: deposition of thin layers; plasma physics; probe diagnostics; depozice tenkých vrstev; fyzika plazmatu; sondová diagnostika
Citation: KOZLOVÁ, Miroslava. Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu. České Budějovice, 2017. diplomová práce (Mgr.). JIHOČESKÁ UNIVERZITA V ČESKÝCH BUDĚJOVICÍCH. Přírodovědecká fakulta

Institution: University of South Bohemia in České Budějovice (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Digital Repository of University of South Bohemia.
Original record: http://www.jcu.cz/vskp/44646

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-371679


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > University of South Bohemia in České Budějovice
Academic theses (ETDs) > Master’s theses