Original title:
SMV-2017-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Translated title:
SMV-2017-06: Development of test specimens for SEM
Authors:
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Knápek, Alexandr Document type: Research reports
Year:
2017
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM).Research and development in the field realization of precise relief structures in the silicon dedicated to the testing of the scanning electron microscopes (SEM) deflection field and accuracy.
Keywords:
e-beam lithography; microlithography; relief structure; silicon etching
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0278733