Original title:
SMV-2017-05: Vývoj matrice pro NIL
Translated title:
SMV-2017-05: Development of NIL matrix
Authors:
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav Document type: Research reports
Year:
2017
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném skleněnou deskou.Research and development in the field of physical realization of transparent and opaque optical structures by means of electron beam lithography in a recording material supported by a glass substrate.
Keywords:
e-beam lithography; NIL
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0277291