Název:
SMV-2017-05: Vývoj matrice pro NIL
Překlad názvu:
SMV-2017-05: Development of NIL matrix
Autoři:
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2017
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném skleněnou deskou.Research and development in the field of physical realization of transparent and opaque optical structures by means of electron beam lithography in a recording material supported by a glass substrate.
Klíčová slova:
e-beam lithography; NIL
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0277291