Název:
Computation and design of the improved version of the scintillation secondary electron detector for environmental SEM
Překlad názvu:
Výpočet a návrh zlepšené verze scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro EREM
Autoři:
Linhart, Jan ; Neděla, Vilém Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Elektrotechnika a informatika /7./, Nečtiny (CZ), 2006-11-01 / 2006-11-02
Rok:
2006
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][cze] Článek popisuje nově realizovanou a optimalizovanou verzi scintilačního detektoru sekundárních elektronů (SE) pro environmentání elektronovou mikroskopii.This paper deals with a newly realized and optimized scintillation-type secondary electron (SE) detector for the environmental scanning electron microscope (environmental SEM). Some computations, design and first results concerning the optimized version are described.
Klíčová slova:
environmental scanning electron microscopy; scintillation detector; secondary electron Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: 7. ročník přehlídky doktorských prací - Elektrotechnika a informatika 2006 (1. Elektrotechnika), ISBN 80-7043-474-0
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0141636