Original title:
Napěťový kontrast v ESEM
Translated title:
Voltage contrast in ESEM
Authors:
Linhart, Jan ; Neděla, Vilém ; Autrata, Rudolf Document type: Papers Conference/Event: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Year:
2006
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Článek popisuje možnost diagnostiky polovodičových součástek pomocí metody napěťového kontrastu v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii.This paper deals with possibility of use voltage contrast in environmental scanning electron microscopy.
Keywords:
environmental scanning electron microscopy; voltage contrast Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: Mikroskopie 2006
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0140975