Název:
Napěťový kontrast v ESEM
Překlad názvu:
Voltage contrast in ESEM
Autoři:
Linhart, Jan ; Neděla, Vilém ; Autrata, Rudolf Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Rok:
2006
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Článek popisuje možnost diagnostiky polovodičových součástek pomocí metody napěťového kontrastu v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii.This paper deals with possibility of use voltage contrast in environmental scanning electron microscopy.
Klíčová slova:
environmental scanning electron microscopy; voltage contrast Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Mikroskopie 2006
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0140975