Název: Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM
Překlad názvu: Detekce signálních elektronů v nízkonapěťové SEM
Autoři: Wandrol, Petr ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok: 2006
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
This paper deals with the detection of signal electrons in the SEM at primary beam energies of 3 keV and less. Special attention is paid to the detection of backscattered electrons which is at low primary beam energies very problematic. Práce se zabývá detekcí signálních elektronů v SEM při energiích primárního svazku 3 keV a nižších. Zvláštní zřetel je brán na detekci zpětně odražených elektronů, která je při nízkých energiích primárního svazku problematická.
Klíčová slova: detection; low voltage SEM; signal electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650501 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139520

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36254


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference