Název:
Detection of Signal Electrons in the Low Voltage SEM
Překlad názvu:
Detekce signálních elektronů v nízkonapěťové SEM
Autoři:
Wandrol, Petr ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok:
2006
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] This paper deals with the detection of signal electrons in the SEM at primary beam energies of 3 keV and less. Special attention is paid to the detection of backscattered electrons which is at low primary beam energies very problematic.Práce se zabývá detekcí signálních elektronů v SEM při energiích primárního svazku 3 keV a nižších. Zvláštní zřetel je brán na detekci zpětně odražených elektronů, která je při nízkých energiích primárního svazku problematická.
Klíčová slova:
detection; low voltage SEM; signal electrons Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650501 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139520