Název: Processing of Signal in the Everhart-Thornley Detector
Překlad názvu: Zpracování signálu Everhart-Thornleyho detektorem
Autoři: Novák, Libor ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok: 2006
Jazyk: eng
Abstrakt: The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experimental data describing signal processing in the E.-T. detector are presented. Results of a numerical model of the E.-T.detector are compared with the performance of a real detector.
Klíčová slova: detection; Everhart-Thornley; SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/04/2144 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139516

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36250


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference