Název:
Processing of Signal in the Everhart-Thornley Detector
Překlad názvu:
Zpracování signálu Everhart-Thornleyho detektorem
Autoři:
Novák, Libor ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok:
2006
Jazyk:
eng
Abstrakt: The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experimental data describing signal processing in the E.-T. detector are presented. Results of a numerical model of the E.-T.detector are compared with the performance of a real detector.
Klíčová slova:
detection; Everhart-Thornley; SEM Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/04/2144 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139516