Original title:
Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope
Translated title:
Režim katodové čočky v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Authors:
Müllerová, Ilona Document type: Papers Conference/Event: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Year:
2006
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] Electron optical characteristics of the cathode lens mode, enabling one to decelerate the electron beam bombarding the specimen in a scanning electron microscope down to arbitrarily low energies, are summarized. Contrast mechanisms appearing at very low energies below 100 eV are described, together with detection strategies capable of acquiring these contrasts. Illustration examples are provided.Je shrnuty elektronově optické charakteristiky režimu katodové čočky, umožňujícího zbrzdit elektronový svazek bombardující preparát v rastrovacím elektronovém mikroskopu na libovolně nízkou energii. Jsou popsány kontrastní mechanismy projevující se při velmi nízkých energiích pod 100 eV společně s detekčními strategiemi schopnými tyto kontrasty zachytit. Jsou předloženy ilustrující příklady.
Keywords:
cathode lens mode; SEM; very slow electrons Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0139514