Název:
Cathode Lens Mode in the Scanning Electron Microscope
Překlad názvu:
Režim katodové čočky v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Autoři:
Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok:
2006
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Electron optical characteristics of the cathode lens mode, enabling one to decelerate the electron beam bombarding the specimen in a scanning electron microscope down to arbitrarily low energies, are summarized. Contrast mechanisms appearing at very low energies below 100 eV are described, together with detection strategies capable of acquiring these contrasts. Illustration examples are provided.Je shrnuty elektronově optické charakteristiky režimu katodové čočky, umožňujícího zbrzdit elektronový svazek bombardující preparát v rastrovacím elektronovém mikroskopu na libovolně nízkou energii. Jsou popsány kontrastní mechanismy projevující se při velmi nízkých energiích pod 100 eV společně s detekčními strategiemi schopnými tyto kontrasty zachytit. Jsou předloženy ilustrující příklady.
Klíčová slova:
cathode lens mode; SEM; very slow electrons Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139514