Original title:
Programs for Electron Optical Design
Translated title:
Programy pro elektronově optický návrh
Authors:
Lencová, Bohumila ; Oral, Martin Document type: Papers Conference/Event: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Year:
2006
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] The paper gives a brief overview of computational method used in the Institute of Scientific Instruments of AS CR for the design of electron optical devices. New possibilities of the software are then illustrated on the computations of spot profile in a scanning electron microscope with low energy and Wien filter.Článek podává stručný přehled výpočetních metod používaných v ÚPT AV ČR pro návrh elektronově optických zařízení. Nové možnosti programového vybavení jsou pak ilustrovány na výpočtech rozložení proudu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s nízkou energií a Wienovým filtrem.
Keywords:
computation of spot profiles; optics of charged particles; scanning electron microscope design; Wien filter Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0139511