Název: Termomechanická stabilita DLC/SiOx vrstev
Překlad názvu: Thermomechanical stability of DLC/SiOx films
Autoři: Buršíková, V. ; Buršík, Jiří ; Sťahel, P. ; Klapetek, P. ; Bláhová, O.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Vrstvy a povlaky 2006, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2006-10-10 / 2006-10-11
Rok: 2006
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Termomechanická stabilita DLC/SiOx vrstev. Thermomechanical stability of DLC/SiOx films.
Klíčová slova: DLC; plasma enhanced chemical vapor deposition; thermal stability
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP), GA202/05/0607 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Vrstvy a povlaky /5./, ISBN 80-969310-2-4

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0138060

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-35986


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference