Název: Geometrical aspects of connection between surface reggedness and resistance of thin films
Autoři: Franc, J. ; Janda, Pavel ; Novotný, Jan
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Applied Electronics 2003, Pilsen (CZ), 2003-09-10 / 2003-09-11
Rok: 2003
Jazyk: eng
Abstrakt: The relationship between the ruggedness of substrate surface and the resistance of sputtered NiCr films was studied. The geometrical model in which the surface unevenness is simulated by pyramid was derived. The increase of R/ on a rugged surface in comparison with a polished one was calculated. Ruggedness on real surfaces was analysed by means of AFM microscopy. Obtained data were compared with the model.
Klíčová slova: epitaxial layers; measurement; optoelectronic devices
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2067918 (CEP), KSK1010104 Projekt 04/01:4046 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Applied Electronics 2003

Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0114318

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32551


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fotoniky a elektroniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference