Název: Surface roughness and resistivity of thin films
Autoři: Franc, J. ; Novotný, Jan
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Applied Electronics 2002, Pilsen (CZ), 2002-09-11 / 2002-09-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Surface finish of alumina thin film substrates was measured with stylus profilometer. A connection between the obtained values of Ra and the thin film resistance was studied. No correlation can be found owing to big stylus radius and computation method used in profilometer.
Klíčová slova: surface contamination; surface treatment; thin films resistors
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2067918 (CEP), KSK1010104 Projekt 04/01:4046 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Applied Electronics 2002

Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0114169

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32506


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fotoniky a elektroniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference