Název:
Automatizace epitaxního růstu polovodičových heterostruktur
Překlad názvu:
Automation of LPE growth of semiconductor heterostructures
Autoři:
Novotný, Jan ; Kostka, František ; Leba, P. ; Poupa, M. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Aplikovaná elektronika'98, Plzeň (CZ), 1998-09-09 / 1998-09-10
Rok:
1998
Jazyk:
cze
Klíčová slova:
automation; liquid phase epitaxial growth; semiconductors Číslo projektu: GA102/96/1238 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Aplikovaná elektronika'98. Sborník referátů mezinárodní vědecké konference
Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0113518