Original title:
Automatizace epitaxního růstu polovodičových heterostruktur
Translated title:
Automation of LPE growth of semiconductor heterostructures
Authors:
Novotný, Jan ; Kostka, František ; Leba, P. ; Poupa, M. Document type: Papers Conference/Event: Aplikovaná elektronika'98, Plzeň (CZ), 1998-09-09 / 1998-09-10
Year:
1998
Language:
cze
Keywords:
automation; liquid phase epitaxial growth; semiconductors Project no.: GA102/96/1238 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Aplikovaná elektronika'98. Sborník referátů mezinárodní vědecké konference
Institution: Institute of Photonics and Electronics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0113518