Název: Simultaneous measurement of composition and thickness of quaternarycompound films by EPMA
Autoři: Starý, V. ; Procházková, Olga ; Jurek, Karel ; Kohout, Jindřich
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANO'94, Brno (CZ), 1994-08-29 / 1994-08-30
Rok: 1994
Jazyk: eng
Klíčová slova: measurement; thin films
Číslo projektu: 102/93/0642
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Nanometrology Scanning Probe Microscopy and Related Techniques

Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0112989

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32204


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fotoniky a elektroniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference