Název:
Simultaneous measurement of composition and thickness of quaternarycompound films by EPMA
Autoři:
Starý, V. ; Procházková, Olga ; Jurek, Karel ; Kohout, Jindřich Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: NANO'94, Brno (CZ), 1994-08-29 / 1994-08-30
Rok:
1994
Jazyk:
eng
Klíčová slova:
measurement; thin films Číslo projektu: 102/93/0642 Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Nanometrology Scanning Probe Microscopy and Related Techniques
Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0112989