Název: Control and monitoring of a modulation depth of interferometrically fabricated photoresist grating structures
Autoři: Koudela, Ivo ; Miler, Miroslav ; Skalský, Miroslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANO'94, Brno (CZ), 1994-08-29 / 1994-08-30
Rok: 1994
Jazyk: eng
Klíčová slova: diffraction gratings; laser beams; photoresists
Číslo projektu: 267405/94
Poskytovatel projektu: GA AV
Zdrojový dokument: Nanometrology Scanning Probe Microscopy and Related Techniques

Instituce: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0112979

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-32199


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fotoniky a elektroniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference