Original title:
Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM
Translated title:
Závislost kontrastu na tlaku segmentového ionizačního detektoru v environmentální REM
Authors:
Černoch, P. ; Jirák, Josef ; Autrata, Rudolf Document type: Papers Conference/Event: Mikroskopie 2005, Nové Město na Moravě (CZ), 2005-2-24 / 2005-2-25
Year:
2005
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] Ionization detector utilizes impact ionization in electrostatic field in gaseous environment in the specimen chamber for signal detection. The contrasts between four metal materials using ionization detector with three concentric electrodes in various connection of the electrodes were monitored. As experimentally determined, the grounding of the outer electrode has a positive influence on the image contrast.Ionizační detektor využívá k detekci signálu nárazová ionizace v elektrostatickém poli v plynném prostředí komory vzorku. Byly sledovány kontrasty mezi čtyřmi kovovými materiály při použití ionizačního detektoru se třemi soustřednými elektrodami s různým zapojením těchto elektrod. Experimentem bylo zjištěno, že uzemnění vnější elektrody má kladný vliv kontrast mikrosnímku.
Keywords:
ESEM; ionization detector Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: Mikroskopie 2005
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111559