Original title: Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií
Translated title: Theoretical and experimental study of a Wien filter properties for using at the very-low-energy scanning electron microscope
Authors: Vlček, Ivan
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year: 2005
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Výsledky studia Wienova filtru jsou využity při návrhu rastrovacího mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Wienův filtr slouží jako separátor primárních a signálních elektronů. Článek se také zabývá návrhem dalších částí optického systému mikroskop: objektivu, vychylovacího systému a detekční optiky. Results of Wien filter study are employed for design of a very low-energy scanning microscope. A Wien filter serves as a separator of primary and signal electrons in this arrangement. The paper describes design of other optical parts of the microscope: objective lens, deflection system and CCD detector optics.
Keywords: CCD detector; very low energy SEM; Wien filter
Project no.: GA202/03/1575 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111297

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31957


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers