Home > Conference materials > Papers > Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií
Original title:
Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií
Translated title:
Theoretical and experimental study of a Wien filter properties for using at the very-low-energy scanning electron microscope
Authors:
Vlček, Ivan Document type: Papers Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year:
2005
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Výsledky studia Wienova filtru jsou využity při návrhu rastrovacího mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Wienův filtr slouží jako separátor primárních a signálních elektronů. Článek se také zabývá návrhem dalších částí optického systému mikroskop: objektivu, vychylovacího systému a detekční optiky.Results of Wien filter study are employed for design of a very low-energy scanning microscope. A Wien filter serves as a separator of primary and signal electrons in this arrangement. The paper describes design of other optical parts of the microscope: objective lens, deflection system and CCD detector optics.
Keywords:
CCD detector; very low energy SEM; Wien filter Project no.: GA202/03/1575 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111297