Název:
Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií
Překlad názvu:
Theoretical and experimental study of a Wien filter properties for using at the very-low-energy scanning electron microscope
Autoři:
Vlček, Ivan Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok:
2005
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Výsledky studia Wienova filtru jsou využity při návrhu rastrovacího mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Wienův filtr slouží jako separátor primárních a signálních elektronů. Článek se také zabývá návrhem dalších částí optického systému mikroskop: objektivu, vychylovacího systému a detekční optiky.Results of Wien filter study are employed for design of a very low-energy scanning microscope. A Wien filter serves as a separator of primary and signal electrons in this arrangement. The paper describes design of other optical parts of the microscope: objective lens, deflection system and CCD detector optics.
Klíčová slova:
CCD detector; very low energy SEM; Wien filter Číslo projektu: GA202/03/1575 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111297