Original title:
Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM
Translated title:
The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM
Authors:
Konvalina, Ivo Document type: Papers Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year:
2005
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují transport částic z oblasti vzorku k detektoru.This work is focused on the simulations of the collection efficiency of the Everhart-Thornley (ET) detector of the secondary electrons (SE). The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and geometrical parameters in the specimen chamber, that influence the particle transport from the specimen region to the detector.
Keywords:
collection efficiency; ET detector; secondary electrons Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111290