Název: Kvantifikace detekční účinností detektoru sekundárních elektronů v REM
Překlad názvu: The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM
Autoři: Konvalina, Ivo
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Rok: 2005
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu, které ovlivňují transport částic z oblasti vzorku k detektoru. This work is focused on the simulations of the collection efficiency of the Everhart-Thornley (ET) detector of the secondary electrons (SE). The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and geometrical parameters in the specimen chamber, that influence the particle transport from the specimen region to the detector.
Klíčová slova: collection efficiency; ET detector; secondary electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0111290

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31950


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference