Original title:
Návrh difraktivních struktur pro elektronový litograf BS600
Translated title:
Design of diffractive elements manufactured on electron-beam lithograph BS600
Authors:
Daněk, Lukáš Document type: Papers Conference/Event: PDS 2004, Brno (CZ), 2005-03-15
Year:
2005
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Cílem práce je vypracování postupu návrhu a expozice difraktivních struktur s požadovanými difraktivními vlastnostmi. Práce se především zabývá návrhem expozičních dat odpovídajících zvoleným technologickým podmínkám.The goal of this work is to evolve techniques to design diffractive elements of required diffractive properties. The work mainly deals with design of exposition data correspondent to chosen technological conditions.
Keywords:
diffractive structures; Electron-beam lithography Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Host item entry: PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky, ISBN 80-239-4561-0
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0111284