Název: Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants
Překlad názvu: Světelný kolektor pro vzdušnou fluorescenci a také pro rozptyl záření na nečistotách křemíkových desek
Autoři: Palatka, Miroslav ; Schovánek, Petr ; Hrabovský, Miroslav ; Nožka, Libor ; Řídký, Jan ; Boháčová, Martina
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2004-11-02 / 2004-11-05
Rok: 2004
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Air fluorescence is defined as photons produced by charged particles in the air. The excited molecules emit light in the near UV and in the visible region between 300 nm and 400 nm. The simple light collection system for laboratory analysis of the fluorescence signal is presened. The optical layout of Surfscan 4500 (KLA-Tencor) is described and very high similarity between it and fluorescence colection system is shown. Vzdušná fluorescence je definována počtem fotonů produkovaných nabitými částicemi vzduchu. Je zde prezentován jednoduchý světelný kolektor pro laboratorní analýzu tohoto fluorescenčního signálu. Na příkladu systému Surfscan 4500 (KLA-Tencor) je ukázána podobnost mezi jeho kolektivním systémem a kolektivním systémem pro fluorescenci.
Klíčová slova: air fluorescence; collection optics; wafer conaminants
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010920 (CEP), LN00A006 (CEP), LA 134
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0110121

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-31819


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference