Original title:
Mikroobrábění elektronovým svazkem
Translated title:
Micro-machining by an electron beam
Authors:
Zobač, Martin Document type: Papers Conference/Event: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Year:
2002
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Práce se zabývá problematikou odstraňování materiálu pomocí intenzívního elektronového svazku (ES) ve vakuu. Hlavním cílem je studium interakce ES s kovovými a případně i nekovovými materiály. Nedílnou součástí je příprava experimentálního zařízení, jeho vakuové části a elektronového děla. Nutné bude vytvoření unikátní elektroniky, především VN zdroje, umožňujícího impulsní provoz elektronového děla.The work deals with problems of removing material with an intensive electron beam (EB) in vacuum. The main goal is study of the interaction of EB with metallic and possibly non-metallic materials. An undividable part of the work is a preparation of an experimental device, its experimental parts and the electron gun. It will be necessary to create a unique electronics, especially a HV source enabling impulse operation of the electron gun.
Keywords:
electron beam; high-voltage source; micromachining Project no.: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065015 (CEP) Funding provider: GA AV ČR Host item entry: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0101216