Název:
Mikroobrábění elektronovým svazkem
Překlad názvu:
Micro-machining by an electron beam
Autoři:
Zobač, Martin Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Rok:
2002
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Práce se zabývá problematikou odstraňování materiálu pomocí intenzívního elektronového svazku (ES) ve vakuu. Hlavním cílem je studium interakce ES s kovovými a případně i nekovovými materiály. Nedílnou součástí je příprava experimentálního zařízení, jeho vakuové části a elektronového děla. Nutné bude vytvoření unikátní elektroniky, především VN zdroje, umožňujícího impulsní provoz elektronového děla.The work deals with problems of removing material with an intensive electron beam (EB) in vacuum. The main goal is study of the interaction of EB with metallic and possibly non-metallic materials. An undividable part of the work is a preparation of an experimental device, its experimental parts and the electron gun. It will be necessary to create a unique electronics, especially a HV source enabling impulse operation of the electron gun.
Klíčová slova:
electron beam; high-voltage source; micromachining Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065015 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101216