Original title: Segmentový ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Translated title: Segment ionization detector for environmental scanning electron microscope
Authors: Schneider, Luděk
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Year: 2002
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Práce se zabývá vývojem a realizací segmentového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop (ESEM). Součástí práce je studium detekce signálních elektronů pro různé velikosti a prostorové umístění ionizačního a detekčního objemu vymezeného segmentovými elektrodami detektoru. The work deals with development and realization of segment ionization detector for environmental scanning electron microscope (ESEM). The work contains study of detection of signal detection for different sizes and spatial placing of a ionization and detection capacity determined by segment electrodes of the detector.
Keywords: electron microscope; environmental SEM; ionization detector; elektronový mikroskop
Project no.: GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0101213

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29582


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers