Original title: Problematika detekce sekundárních a zpětně odražených elektronů ve vysokém tlaku ESEM
Translated title: Problems of detection of secondary and backscattered electrons at high pressure in ESEM
Authors: Neděla, Vilém
Document type: Papers
Conference/Event: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Year: 2002
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Práce se zabývá všemi aspekty detekce sekundárních a zpětně odražených elektronů ve vysokém tlaku ESEM. Zahrnuje zvládnutí teorie elektromagnetického a elektrostatického pole, seznámení se s různými způsoby detekce elektronů v SEM, s vakuovými technikami, s teorií ionizace v plynech a s principy elektronové optiky. The work considers all aspects of the detection of secondary and backscattered electrons at high pressure in ESEM. It shows knowledge of the theory of electromagnetic and electrostatic field, knowledge of various ways of electrons detection in SEM, of vacuum techniques, of the theory of ionization in gases and of principles of electron optics.
Keywords: detection; environmental; microscopy
Project no.: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065107 (CEP), GA102/01/1271 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA ČR
Host item entry: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0101209

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29578


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers