Název: Víceúrovňové difraktivní struktury pro optické aktivní elementy
Překlad názvu: Multi-level diffraction structures for optical active elements
Autoři: Daněk, Lukáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: electron lithography; multilevel diffraction structures
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101203

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29572


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference
 Záznam vytvořen dne 2011-07-01, naposledy upraven 2021-11-24.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet