Název: Characterization of rainbowlike hanze on (111) Si wafers
Autoři: Seďa, Bohuslav ; Englišová, V.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: SILICON 2002, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2002-11-05 / 2002-11-08
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Silicon single crystals used in microelectronic industry are mostly grownin crystalline orientations (111) or (100). These crystals are processed to polished wafers by several technological steps. The first one is their cutting. The crystals in crystalline orientation (111) are usually cut with off-orientation up to 4 degrees of (111) crystalline plane. Only wafers for some special applications are cut with zero off-orientation. A specialoptical feature of polished surface of (111) silicon wafers cut with zerooff-orientation is presentsed in this paper.
Klíčová slova: crystalline orientations; optical feature; single crystals
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of scientific and business conference

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101159

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29565


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference