Název: Detection of signal electrons at higher pressure in the specimen chamber
Autoři: Jirák, Josef ; Autrata, Rudolf ; Špinka, Jiří
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The advantages of the scanning electron microscopy working at higher pressures in the specimen chamber are connected with the possibility of observation of specimens structures, which are difficultly observable without previous preparation for microscopes working with pressures in the specimen chamber under 10.sup.-2./sup. Pa. The pressure in the specimen chamber up to approx. 2000 Pa brings the possibility of observation of specimens, which release gases, specimens containing liquid phase, including wet biological preparations, reactions on the phase interfaces, etc. At higher pressures in the specimen chamber it is also not necessary - due to neutralisation of the surface negative charge by gas ions - to coat electrically non-conductive specimens by a conductive layer.
Klíčová slova: higher pressures; scanning electron microscopy; surface negative charge
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/01/1271 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101123

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29556


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference