Název:
Imaging of the voltage contrast in environmental SEM
Autoři:
Romanovský, Vladimír ; Autrata, Rudolf Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: Current methodology of imaging in the scanning electron microscopy is based on the detection of signal electrons that carry topografic and materialcontrast of specimens under study. Electronic devices can be observed because in their standard working mode voltage differences on component surfaces are visualized by means of the voltage contrast. This contrast can be acquired in nearly any commercially available scanning electron microscopeby detection and subsequent analysis of secondary electrons.
Klíčová slova:
detektory; contrast; detectors; environmental SEM Číslo projektu: GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101104