Název:
Ultrahigh vacuum scanning low energy electron microscope (UHV SLEEM) for surface studies
Autoři:
Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: The aim of project is to study clean and well-defined surfaces via interaction of electrons at energies from 0 to 25 keV with a high spatial resolution. During the period 1995-2001 we have built an Ultrahigh Vacuum Scanning Low Energy Electron Microscope for surface studies. The image resolution below 50 nm can be achieved at 10 eV. The residual pressure in the specimen vicinity is 10.sup.-10./sup. mbar. The paper briefly describes main parameters of the instrument.
Klíčová slova:
UHV SLEEM Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IAA1065901 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101100