Název: Computer controlled SEM Tesla BS 350 with cathode for detection of slow and Auger electrons
Autoři: Hrnčiřík, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The goal of the experiment is an in-situ comparison of the signals given by Auger and by slow electrons (down to 10 eV) with a high resolution. These open new possibilities of getting information about the material and topographical contrast from real surfaces. A new experimental device was designed for this intention, which is presented in this contribution.
Klíčová slova: in-situ comparison of the signals; slow electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101098

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29536


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference