Název:
Computer controlled SEM Tesla BS 350 with cathode for detection of slow and Auger electrons
Autoři:
Hrnčiřík, Petr Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: The goal of the experiment is an in-situ comparison of the signals given by Auger and by slow electrons (down to 10 eV) with a high resolution. These open new possibilities of getting information about the material and topographical contrast from real surfaces. A new experimental device was designed for this intention, which is presented in this contribution.
Klíčová slova:
in-situ comparison of the signals; slow electrons Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101098