Název: Examination of semiconductor structures with slow electrons
Autoři: Frank, Luděk ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Possibilities for visualization of the doped areas and variances in the local density of electron states are briefly reviewed. First examples are presented of utilizing very slow electrons in a cathode lens equipped SEM for this purpose. These include acquisition of the doping contrast via secondary electrons and observation of the local energy band structure by means of elastically backscattered electrons.
Klíčová slova: cathode lens equipped SEM; slow electrons
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IAA1065901 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101096

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29534


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference