Název: Measurement of the critical energy in the SEM equipped with the cathode lens
Autoři: Zobačová, Jitka ; Müllerová, Ilona ; Hutař, Otakar ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EMAS 2000 - Regional Workshop on Electron Probe Microanalysis Today /4./, Třešť (CZ), 2000-05-17 / 2000-05-20
Rok: 2000
Jazyk: eng
Abstrakt: Charge absorbed in a specimen during observation in SEM is a result of unbalance between incoming and emitted electrons. In a nonconductive specimen, the charge remains localized and the electric field influences the trajectories of both the primary beam and the signal electrons moving toward a detctor so that the geometry as well as the intensity scale of the image are damaged. Among the methods invented to avoid the surface charging, imaging at critical energies belongs to the most progressive ones.
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA202/99/0008 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings EMAS 2000 - 4th Regional Workshop on Electron Probe Microanalysis Today - Practical Aspects, ISBN 80-01-02176-9
Poznámka: Související webová stránka: mailto:kanova@isibrno.cz

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100888

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29485


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference