Název: Detection of angular distribution of the signal electrons in VLESEM
Autoři: Horáček, Miroslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EUREM /12./ - European Congress on Electron Microscopy, Brno (CZ), 2000-07-09 / 2000-07-14
Rok: 2000
Jazyk: eng
Abstrakt: The aim of this work is to design a detector for the angle and energy-selective detection of signal electrons in very low energy scanning electron microscopy (VLESEM), based on the directly electron-bombarded CCD sensor (EBCCD). The planar CCD sensor is very suitable for conversion of the area information carried by impinging electrons of the signal beam into the electrical signal that can be further processed.
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/00/P001 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th European Congress on Electron Microscopy, ISBN 80-238-5503-4
Poznámka: Související webová stránka: mailto:mih@isibrno.cz

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100872

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29474


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference