Název: Imaging of semiconductor structures in environmental SEM
Autoři: Romanovský, Vladimír ; Hutař, Otakar
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EUREM /12./ - European Congress on Electron Microscopy, Brno (CZ), 2000-07-09 / 2000-07-14
Rok: 2000
Jazyk: eng
Abstrakt: The charging effects are encountered very often when the semiconductor specimens are observed. There are several possibilities how to eliminate these undesirable phenomena. One of the newest methods how to suppress charging of specimens is environmental scanning electron microscopy (ESEM). Ionisation of gas molecules caused by impacts of primary beam electrons and signal electrons in the close vicinity of the specimen surface removes the surface charge. The ionisation detectors used in ESEM enable one to obtain similar information as in classical SEM.
Číslo projektu: IBS2065017 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th European Congress on Electron Microscopy, ISBN 80-238-5503-4
Poznámka: Související webová stránka: mailto:lada@isibrno.cz

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100868

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29470


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference