Název:
Friction characteristics of r.f. magnetron sputtered C thin films
Autoři:
Sobota, Jaroslav Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: EDS '94 - Electronic Devices and Systems Conference, Brno (CZ), 1994-11-22 / 1994-11-23
Rok:
1994
Jazyk:
eng Zdrojový dokument: Proceedings of Electronic Devices and Systems Conference 1994
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100241