Název: SMV-2016-20: Výpočty detekčních systémů rastrovacích elektronových mikroskopů
Překlad názvu: SMV-2016-20: Simulation of detection systems of scanning electron microscopes
Autoři: Radlička, Tomáš ; Oral, Martin ; Rozbořil, Jakub
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V rámci smluvního výzkumu byly analyzovány detekční systémy několika rastrovacích elektronových mikroskopů z portfolia FEI Czech Republic, pro velké množství nastavení systému. Cílem bylo jednak zmapovat detekční mechanizmy, ale také nalézt optimální nastavení systému pro detekci zvolené části spektra signálních elektronů, tak aby se maximalizoval materiálový, nebo topografický kontrast. The analysis of the detection system of scanning electron microscopes produced by FEI Czech Republic was done for many setting of the electron optical system. The main goal was to analyze the detection mechanisms and to find optimal system setting for detection of the given part of signal electron spectrum. It is used for maximization of the material or topographical contrast.
Klíčová slova: contrast optimization; electron microscopy; electron optics

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266308

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262491


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy