Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 2 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
SMV-2016-20: Výpočty detekčních systémů rastrovacích elektronových mikroskopů
Radlička, Tomáš ; Oral, Martin ; Rozbořil, Jakub
V rámci smluvního výzkumu byly analyzovány detekční systémy několika rastrovacích elektronových mikroskopů z portfolia FEI Czech Republic, pro velké množství nastavení systému. Cílem bylo jednak zmapovat detekční mechanizmy, ale také nalézt optimální nastavení systému pro detekci zvolené části spektra signálních elektronů, tak aby se maximalizoval materiálový, nebo topografický kontrast.
Optimal X-ray detection for thin samples in low-energy STEM
Rozbořil, Jakub ; Oral, Martin ; Radlička, Tomáš
In many applications it is desirable to perform energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) on very thin samples at low primary beam energies in a STEM. Thin samples, or lamellae, with the thickness of about 10 nm, are mostly prepared in focused ion beam instruments (FIBs), and they are used to evaluate experiments in the development of thin films and coatings, in the semiconductor industry, and in other applications. EDS then provides a map of different chemical elements or compounds in the sample, obtained by scanning the electron beam in a raster. Often the qualitative composition is known as a limited set of materials and only their distribution on the sample is to be determined. For large batches of samples fast measurements are desired to maximize utilization of expensive equipment. In this study we found a method to minimize the time needed to reliably acquire an elemental map by determining the optimal detector placement and the minimal necessary primary electron dose per pixel.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.