Original title:
SMV-2016-20: Výpočty detekčních systémů rastrovacích elektronových mikroskopů
Translated title:
SMV-2016-20: Simulation of detection systems of scanning electron microscopes
Authors:
Radlička, Tomáš ; Oral, Martin ; Rozbořil, Jakub Document type: Research reports
Year:
2016
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] V rámci smluvního výzkumu byly analyzovány detekční systémy několika rastrovacích elektronových mikroskopů z portfolia FEI Czech Republic, pro velké množství nastavení systému. Cílem bylo jednak zmapovat detekční mechanizmy, ale také nalézt optimální nastavení systému pro detekci zvolené části spektra signálních elektronů, tak aby se maximalizoval materiálový, nebo topografický kontrast.The analysis of the detection system of scanning electron microscopes produced by FEI Czech Republic was done for many setting of the electron optical system. The main goal was to analyze the detection mechanisms and to find optimal system setting for detection of the given part of signal electron spectrum. It is used for maximization of the material or topographical contrast.
Keywords:
contrast optimization; electron microscopy; electron optics
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0266308