Original title: SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV
Translated title: SMV-2016-04: Research and development of 100 kV high voltage power supply
Authors: Zobač, Martin ; Vlček, Ivan
Document type: Research reports
Year: 2016
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Náplní je pokračování vývoje vysokonapěťového zdroje urychlovacího napětí s integrovaným\nnízkonapěťovým zdrojem napájení plovoucí části a výroba prototypu tohoto zdroje. Zdroj primárního\nnapětí je určen pro aplikaci v litografii nebo pro TEM. \n The project deals with research and development of high voltage power supply for particle optics accelerator with integrated power supply for FEG. The supply is intended for electron lithography and for TEM.
Keywords: electron lithography; FEG; high tension; high voltage; power supply; TEM

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0266185

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262464


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports