Original title:
SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV
Translated title:
SMV-2016-04: Research and development of 100 kV high voltage power supply
Authors:
Zobač, Martin ; Vlček, Ivan Document type: Research reports
Year:
2016
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Náplní je pokračování vývoje vysokonapěťového zdroje urychlovacího napětí s integrovaným\nnízkonapěťovým zdrojem napájení plovoucí části a výroba prototypu tohoto zdroje. Zdroj primárního\nnapětí je určen pro aplikaci v litografii nebo pro TEM. \nThe project deals with research and development of high voltage power supply for particle optics accelerator with integrated power supply for FEG. The supply is intended for electron lithography and for TEM.
Keywords:
electron lithography; FEG; high tension; high voltage; power supply; TEM
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0266185