Název: SMV-2016-04: Výzkum a vývoj vysokonapěťového zdroje 100 kV
Překlad názvu: SMV-2016-04: Research and development of 100 kV high voltage power supply
Autoři: Zobač, Martin ; Vlček, Ivan
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2016
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Náplní je pokračování vývoje vysokonapěťového zdroje urychlovacího napětí s integrovaným\nnízkonapěťovým zdrojem napájení plovoucí části a výroba prototypu tohoto zdroje. Zdroj primárního\nnapětí je určen pro aplikaci v litografii nebo pro TEM. \n The project deals with research and development of high voltage power supply for particle optics accelerator with integrated power supply for FEG. The supply is intended for electron lithography and for TEM.
Klíčová slova: electron lithography; FEG; high tension; high voltage; power supply; TEM

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266185

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262464


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy